[发明专利]一种微纳米热检测传感组件有效
| 申请号： | 200910198452.4 | 申请日： | 2009-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102053171A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 曾华荣;殷庆瑞;惠森兴;赵坤宇;李国荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38;G01N25/00;G01N25/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种微纳米热检测传感组件，包括：加热并探测被测样品温度的热探针；在热探针检测时探测环境温度的参考探针；以磁力吸住热探针的底板，对热探针定位的磁性底座；隔离体，设置于磁性底座下方；定位器，采用压板结构，将热探针的引线压住，对热探针起辅助定位作用；输出连接体电路板，包括印刷线路板和连接器，印刷电路板与参考探针和热探针的输出端相连，连接器用于与外部检测桥路相连；测试支架，用于固定输出连接体电路板、磁性底座、隔离体和定位器。本发明具有检测灵敏度高、抗外部环境干扰强等特点，并可与商用原子力显微镜(AFM)完全兼容，原位获得被测样品的形貌像与热学像。其热成像分辨率达60纳米，优于同类国外产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 检测 传感 组件 | ||
【主权项】：
一种微纳米热检测传感组件，用于原子力显微镜热成像系统，包括：热探针，用于加热并探测被测样品的温度；参考探针，设置在所述热探针一侧，用于在所述热探针检测时探测环境温度；磁性底座，设置在所述热探针底板下，以磁力吸住所述热探针的底板，对所述热探针定位；隔离体，设置于所述磁性底座下方；定位器，采用压板结构，将所述热探针的引线压住，对所述热探针起辅助定位作用；输出连接体电路板，包括印刷线路板和连接器，所述印刷电路板与所述参考探针和所述热探针的输出端相连，所述连接器用于与外部检测桥路相连。
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