[发明专利]一种投影物镜波像差测量装置及测量方法无效
| 申请号： | 200910199109.1 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102073218A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 马明英;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种投影物镜波像差测量装置，该装置包括光源模块；物面基底，其底部具有物面标记面，物面标记面上具有物面标记；投影物镜，对物面标记面进行成像；像面基底，其上具有像面标记，对成像于其上的物面标记面上的物面标记的像进行衍射，经像面标记衍射产生的不同级次的衍射光在远场产生干涉条纹；图像探测器，接收并储存干涉条纹；其中，物面标记面上具有m行n列物面标记，且同一列不同行的标记在列方向上具有一固定位移，在物面标记面平面内还具有一移相位移。本发明还公开了该装置的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 波像差 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种投影物镜波像差测量装置，该装置包括：光源模块，提供照明光；物面基底，其底部具有物面标记面，物面标记面上具有物面标记；投影物镜，对物面标记面进行成像；像面基底，其上具有像面标记，对成像于其上的物面标记面上的物面标记的像进行衍射，经像面标记衍射产生的不同级次的衍射光在远场产生干涉条纹；图像探测器，接收并储存所述干涉条纹；其特征在于，物面标记面上具有m行n列物面标记，且同一列不同行的标记在列方向上具有一固定位移，在物面标记面平面内还具有一移相位移。
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