[发明专利]一种相变存储器的擦写方法有效
申请号: | 200910199256.9 | 申请日: | 2009-11-23 |
公开(公告)号: | CN101699562A | 公开(公告)日: | 2010-04-28 |
发明(设计)人: | 龚岳峰;宋志棠;凌云 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G11C11/56 | 分类号: | G11C11/56;G11C16/10;G11C16//14 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 余明伟;冯珺 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种相变存储器的擦写方法,进行擦操作时,首先对器件中的相变材料施加一个脉高较低的脉冲,所述脉冲使相变材料恰好达到熔融温度,并在相变材料局部形成非晶区域;然后继续施加多个脉高较低的脉冲,在相变材料中累积非晶区域,直至器件从低阻态转到高阻态。本发明通过累积作用实现存储器的擦写操作,一方面低脉高产生的低热量有利于材料稳定性,另一方面低脉高能够保证相变存储器在要求低编程电流(电压)环境下的应用,在不改变相变存储器器件结构的情况下,降低了器件功耗,大大节省了优化器件结构的成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 相变 存储器 擦写 方法 | ||
【主权项】:
一种相变存储器的擦写方法,其特征在于:进行擦操作时,包括以下步骤:步骤一,对器件中的相变材料施加一个脉冲,所述脉冲使相变材料达到熔融温度,并在相变材料局部形成非晶区域;步骤二,对器件中的相变材料继续施加多个脉冲,在相变材料中累积非晶区域,直至器件从低阻态转到高阻态。
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