[发明专利]投影物镜波像差测量装置和方法有效
| 申请号： | 200910199597.6 | 申请日： | 2009-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN102081308A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王帆;马明英 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种物镜波像差测量装置，包括：光源；物面标记，其能对光源发出的光进行衍射；投影物镜，用于对物面标记进行成像；像面标记，其结构与物面标记相同，其尺寸基于物镜倍率与物面标记的尺寸相匹配，物面标记通过投影物镜成像于像面标记上；光电探测器，其接收像面标记处产生的二次衍射光在远场产生的干涉条纹，光源发出的光经物面标记衍射后的衍射光的衍射级次缺失至少一级。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 物镜 波像差 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种物镜波像差测量装置，包括：光源；物面标记，其能对光源发出的光进行衍射；投影物镜，用于对物面标记进行成像；像面标记，其结构与物面标记相同，其尺寸基于物镜倍率与物面标记的尺寸相匹配，物面标记通过投影物镜成像于像面标记上；光电探测器，其接收像面标记处产生的二次衍射光在远场产生的干涉条纹，其特征在于，光源发出的光经物面标记衍射后的衍射光的衍射级次缺失至少一级。
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