[发明专利]一种提高对准扫描成功率的方法有效
| 申请号： | 200910199599.5 | 申请日： | 2009-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN102081309A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | 朱正平;李运锋;韦学志;宋海军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种提高对准扫描成功率的方法，具有如下步骤：将光信号转换为电信号；对电信号进行预放大处理；对预放大处理后的信号进行模/数转换，得到离散光信号；对离散光信号和原始位置数据进行功率谱分析，得到信号的功率谱信息；根据功率谱信息中的噪声能量分布选择滤波器类型，并根据所选的滤波器类型对功率谱信息进行数字滤波处理；对经过数字滤波处理的信号进行拟合处理，得到精确的对准位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 对准 扫描 成功率 方法 | ||
【主权项】：
一种提高对准扫描成功率的方法，具有如下步骤：(1)将光信号转换为电信号；(2)对电信号进行预放大处理；(3)对预放大处理后的信号进行模/数转换，得到离散光信号；(4)对离散光信号和原始位置数据进行功率谱分析，得到信号的功率谱信息；(5)根据功率谱信息中的噪声能量分布选择滤波器类型，并根据所选的滤波器类型对功率谱信息进行数字滤波处理；(6)对经过数字滤波处理的信号进行拟合处理，得到精确的对准位置。
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