[发明专利]一种测试镀膜厚度的方法无效
| 申请号： | 200910199818.X | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102087105A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 孔慧;李启龙 | 申请（专利权）人： | 上海交大泰阳绿色能源有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种测试镀膜厚度的方法，首先在衬底上用记号笔或油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，由于记号笔或者油墨笔的成分是油性的，溅射时其他物质就很难在衬底上附着和生成；最后，在镀膜后，将衬底和样品浸泡在溶解液里，记号笔或者油墨笔划过的墨痕会反应掉，露出一道或者多道清晰的台阶，这时候在台阶仪上就能测量了。本发明可以提高镀膜工艺中对厚度测试的精确性和易操作性。本发明由于不使用掩模或者化学腐蚀液，可以节省成本和时间；记号笔或者油性笔、乙醇和丙酮等是常备产品，取用和操作便捷；台阶清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 镀膜 厚度 方法 | ||
【主权项】：
一种测试镀膜厚度的方法，其特征在于按照如下步骤操作：首先在衬底上用记号笔或油墨笔画一道或几道；然后放在镀膜室里镀膜，记号笔或者油墨笔的成分是油性的，溅射时其他物质很难在衬底上附着和生成；最后，在镀膜后，将衬底和样品浸泡在溶解液里，记号笔或者油墨笔划过的墨痕会反应掉，露出一道或者多道清晰的台阶，这时候在台阶仪上就能测量了。
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