[发明专利]一种用于光刻机曝光分系统的快门装置无效
| 申请号： | 200910200090.8 | 申请日： | 2009-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102087476A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 孙智超;罗闻 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明要解决的技术问题是提供一种应用于光刻机曝光分系统的快门装置，包括：至少一片快门叶片；快门控制器，控制快门叶片的开闭；位置传感器，耦接于快门控制器与快门叶片，并提供快门叶片的移动位置信息给快门控制器；支架，位于快门控制器和位置传感器的下方，为音圈电机和所述位置传感器提供支撑；音圈电机由所述快门控制器控制运动；还包括音圈电机，位于支架上，耦接于快门控制器，由快门控制器控制运动；音圈电机驱动所述快门叶片运动，从而形成快门叶片的开闭动作。快门叶片的厚度为0.5mm至2mm。本发明的快门装置适用于大剂量曝光装置，可以同时实现薄胶和厚胶工艺，并且在保证快门速度的前提下增加高温环境下快门的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 曝光 分系统 快门 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机曝光分系统的快门装置，包括：至少一片快门叶片；快门控制器，控制所述快门叶片的开闭；位置传感器，耦接于所述快门控制器与所述快门叶片，并提供所述快门叶片的移动位置信息给所述快门控制器；支架，位于所述快门控制器和所述位置传感器的下方，为所述快门控制器和所述位置传感器提供支撑；其特征在于，还包括，音圈电机，位于所述支架上，耦接于所述快门控制器，由所述快门控制器控制运动；所述音圈电机驱动所述快门叶片运动，从而形成所述快门叶片的开闭动作。
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