[发明专利]一种化学机械研磨废液的处理方法有效
| 申请号： | 200910200821.9 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102107942A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 胡建华;朱杰 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/72 | 分类号： | C02F1/72;C02F1/52 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨废液的处理方法，其特征在于：其包括下述步骤：(1)采用絮凝法处理化学机械研磨废液，(2)采用氧化法处理化学机械研磨废液。本发明所要解决的技术问题在于克服了现有的化学机械研磨废液的处理方法中，采用氧化和絮凝一步法或先氧化再絮凝时混凝剂和氧化剂使用浓度与使用量高，处理效率低，操控困难，成本高，排放的水质不稳定等缺陷，提供了一种新的化学机械研磨废液的处理方法，降低化学机械研磨废液中COD值，提高氧化效率，降低化学机械研磨废液的处理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 废液 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨废液的处理方法，其特征在于：其包括下述步骤：(1)采用絮凝法处理化学机械研磨废液，(2)采用氧化法处理化学机械研磨废液。
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