[发明专利]波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅无效
| 申请号： | 200910200846.9 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101750648A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 周常河;吕鹏;冯吉军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅，适用于波长从600纳米到1800纳米的可见光到近红外波段，光栅的占空比为0.5，入射条件与归一化结构参数不因波长而变化。相应归一化结构参数为：入射波长与光栅周期的比值为1.47～1.48，光栅槽的刻蚀深度与光栅周期的比值为3.20～3.21。在上述波段内该光栅具有很好的偏振无关分束效果，尤其在1064纳米波长时可将TE或TM两种偏振光等强度的分束到0级和-1级。实际制作本发明波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅，可由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，工艺成熟，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 无关 熔融 石英 透射 偏振 光栅 | ||
【主权项】：
一种用于600纳米到1800纳米的可见光到近红外波段的波长无关熔融石英透射1×2偏振无关分束光栅，光栅的占空比为0.5，其特征在于该分束光栅的归一化结构参数为：入射波长与光栅周期的比值为1.47～1.48，光栅槽的刻蚀深度与光栅周期的比值为3.20～3.21。
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