[发明专利]一种绝对式位移测量装置有效
| 申请号： | 200910200940.4 | 申请日： | 2009-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN102109334A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 杨辅强;谢德东;袁志扬;王保亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种绝对式位移测量装置，所述绝对式位移测量装置包括相对式位移检测系统，预处理模块，A/D处理模块，低频校正模块及反相器，该绝对式位移测量装置可以在保持原位移传感器较高的机械固有频率条件下，扩展位移传感器的测量频率下限，从而可以方便地测量物体的绝对位移，且测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绝对 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种绝对式位移测量装置，用于测量微振动的绝对位移，其特征在于，包括依次串连的：相对式位移检测系统，用于检测物体的相对位移，包括弹簧振子及与所述弹簧振子相连的相对式位移传感器，所述相对式位移传感器输出一相对位移信号，所述相对位移信号与绝对位移之间的相位相差180度；预处理模块，用于对所述相对位移信号进行幅值调理和低通滤波预处理，去除噪声信号；A/D处理模块，对预处理后的相对位移信号进行模数转换，得到数字式的相对位移信号；低频校正模块，用于扩展相对式位移传感器的工作频率下限及校正相对式位移传感器的动态特性，从而把数字式的相对位移信号转换为数字式的绝对位移信号；以及反相器，用于对经过低频校正模块后的信号进行相位调理得到相位正确的数字式的绝对位移信号。
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