[发明专利]映射分析装置

摘要

提供一种不花费额外的时间而与观察图像获取单元的视场无关地且也不产生位置偏离地能够得到与映射的观察范围相同的视场的光学观察图像的映射分析装置。具备：映射图像用检测单元(X射线检测器)，对从排列在试样的表面上的多个映射单位区域放出的映射图像用信号进行检测；摄像单元，拍摄试样表面的光学观察图像；信号插值提取电路，从摄像单元的输出信号中除去不是光学信号的部分；图像存储器，保存映射图像用信号检测单元以及信号插值提取电路的输出信号；X-Y台，使试样移动，依次对映射单位区域进行扫描；以及同步控制电路，与X-Y台的移动同步地将映射图像用信号检测单元和信号插值提取电路的输出信号取入到图像存储器中。

主权项

1.一种映射分析装置，具备：映射图像用信号检测单元，其对从排列在试样的表面上的多个映射单位区域分别放出的映射图像用信号进行检测；摄像单元，其拍摄上述试样的表面的光学观察图像；信号插值提取电路，其从上述摄像单元的输出信号中除去与光学信号无关的部分；图像存储器，其保存上述映射图像用信号检测单元以及上述信号插值提取电路的输出信号；X-Y台，其使上述试样沿与上述表面平行的方向移动，对排列的多个上述映射单位区域依次进行扫描；以及同步控制电路，其与上述X-Y台的移动同步地将上述映射图像用信号检测单元和上述信号插值提取电路的输出信号取入到图像存储器中，其中，获取根据上述映射图像用信号生成的映射图像的同时获取形成比上述摄像单元的视场更广区域的上述试样的表面的光学观察图像。