[发明专利]压电元件有效
申请号: | 200910204214.X | 申请日: | 2009-10-14 |
公开(公告)号: | CN101814576A | 公开(公告)日: | 2010-08-25 |
发明(设计)人: | 岩崎富生 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/047;H01L41/18 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种压电性能高、位移大且可靠性高的压电元件。该压电元件具有以BaTi2O5为主要构成材料的压电材料体、和向压电材料体施加电压的内部电极,内部电极的主要构成材料采用与压电材料BaTi2O5的晶格匹配性好的电极材料(Ru与RuO2的混合物)。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 | ||
【主权项】:
一种压电元件,是通过把多个具有以BaTi2O5为主要构成材料的压电材料体和向该压电材料体施加电压的内部电极的压电元件芯片层叠而构成压电元件芯片块,并把多个该压电元件芯片块通过接合层接合起来而得到的,其特征在于:上述内部电极覆盖着上述压电材料体的与层叠方向垂直的截面形成,具有在上述压电元件的一侧面露出的上述内部电极上设置的电绝缘层、和与在上述压电元件的另一侧面露出的上述内部电极连接的外部电极,且上述内部电极的主要构成材料为Ru与RuO2的混合物。
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