[发明专利]偏置温度不稳定性测试的方法有效
| 申请号： | 200910205552.5 | 申请日： | 2009-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101726701A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 施教仁;夏尼锐;王瑞;拉克仕·瑞恩 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京市德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 梁永 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种在器件上执行偏置温度不稳定性测试的方法包括在器件上执行第一应力。第一应力后，执行第一测量来确定器件的第一参数。第一测量后，在器件上执行第二应力，其中第一应力和第二应力之间仅测量第一参数。该方法还包括在第二应力后执行第二测量来确定器件的第二参数。第二参数与第一参数不同。 | ||
| 搜索关键词： | 偏置 温度 不稳定性 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种执行偏置温度不稳定性测试的方法，所述方法包括：设置器件；在所述器件上执行第一应力；所述第一应力后，执行第一测量来确定所述器件的第一参数；所述第一测量后，在所述器件上执行第二应力，其中所述第一应力和所述第二应力之间仅测量所述第一参数；以及所述第二应力后，执行第二测量来确定所述器件的第二参数，其中所述第二参数与所述第一参数不同。
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