[发明专利]感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法有效
| 申请号： | 200910207040.2 | 申请日： | 2009-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101730375A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木和男;齐藤均;佐藤亮 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/505;C23F4/02;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明供给一种功率效率更良好的感应耦合等离子体处理装置。该处理装置具有：处理室，容纳被处理基板并实施等离子体处理；载置台，在处理室内载置被处理基板；处理气体供给系统，向处理室内供给被处理气体；排气系统，对处理室内的气体进行排气；天线电路(13b)，通过电介质部件配置在处理室的外部，供给高频电力，由此在上述处理室内形成感应电场；和并联电路(天线电路(13a))，与天线电路(13b)并联连接，使天线电路(13a)的阻抗和天线电路(13b)的阻抗成为反相位，在处理室内生成感应耦合等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，具有：处理室，容纳被处理基板并实施等离子体处理；载置台，在所述处理室内载置被处理基板；处理气体供给系统，向所述处理室内供给处理气体；排气系统，对所述处理室内进行排气；天线电路，通过电介质部件配置在所述处理室的外部，被供给高频电力，由此在所述处理室内形成感应电场；和并联电路，与所述天线电路并联连接，该感应耦合等离子体处理装置构成为使所述天线电路的阻抗和所述并联电路的阻抗成为反相位，在所述处理室内生成感应耦合等离子体。
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