[发明专利]一种Al-0.5Cu导电层退火处理的方法无效
| 申请号： | 200910209454.9 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN102051454A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 徐忠良;周烽 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/26 | 分类号： | C21D1/26;C21D11/00;C22F1/057 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提出了一种Al-0.5Cu导电层退火处理的方法，将导电层置入高真空的环境中，在温度为380～420℃保持一段时间并冷却，Al-0.5Cu导电层的厚度在 |
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| 搜索关键词： | 一种 al 0.5 cu 导电 退火 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种Al-0.5Cu导电层退火处理的方法，将导电层置入高真空的环境中保温并冷却，其特征在于，所述保温温度为380～420℃，Al-0.5Cu导电层的厚度在![]()
时，所述时间为60s～300s，Al-0.5Cu导电层的厚度越大，时间越长。
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