[发明专利]热扩散率测量装置

摘要

本发明提供一种热扩散率测量装置，该装置包括激发光源，其产生激发光束；光学控制装置，其具有光学部件组、光束质量分析仪和能量计，该光学控制装置通过光学部件组中的可更换的光学元件对激发光束的能量进行调整；真空加热炉，在其内部设置有加热元件对样品进行加热；控温装置，对真空加热炉的加热温度进行控制；测温装置，通过探测器将测得的样品温升信号经前置放大器放大后传送到数据采集处理装置；数据采集处理装置，其包括数据采集系统和数据处理系统，数据采集系统将所采集到的所有数据信号传递到数据处理系统，数据处理系统对数据信号进行分析和多项理论修正处理。通过本发明所设计的激光热扩散率测量装置，材料热扩散率的测量重复性达到1％以内，降低了测量不确定度，提高了热扩散率测量的水平，为我国热扩散率标准装置的建立，热扩散率标准物质的制备及热扩散率标准数据库的建立奠定基础。

主权项

一种热扩散率测量装置，其包括有：激发光源，其产生用于对样品前表面进行加热的激发光束；光学控制装置，其具有光学部件组、光束质量分析仪和能量计，该光学控制装置通过光学部件组中的可更换的光学元件对激发光束的能量进行调整；真空加热炉，在其内部设置有加热元件对样品进行加热；控温装置，对真空加热炉的加热温度进行控制；测温装置，其用于测量样品背面产生的温升信号，该测温装置中的探测器将测得的样品温升信号经前置放大器放大后传送到数据采集处理装置；数据采集处理装置，其包括数据采集系统和数据处理系统，数据采集系统将所采集到的所有数据信号传递到数据处理系统，数据处理系统对数据信号进行分析和多项理论修正处理。