[发明专利]金刚石单晶同质内延修复以及同质外延生长的方法无效
申请号: | 200910210558.1 | 申请日: | 2009-11-10 |
公开(公告)号: | CN101696515A | 公开(公告)日: | 2010-04-21 |
发明(设计)人: | 宋建华 | 申请(专利权)人: | 宋建华 |
主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B25/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100091 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种金刚石单晶同质内延修复以及同质外延生长的方法,其特征在于所述方法包括:采用CVD化学气相沉积金刚石设备,以金刚石单晶为晶种,于700~2000℃的温度下进行气相沉积的内延修复和外延生长。该方法能够同时实现金刚石单晶的同质内延修复和同质外延生长,其可用于修复现有金刚石的内部空洞和裂纹等缺陷,去除金刚石的内部杂质和颜色,增加其透明度和洁净度,并可以在金刚石单晶外表面的各个取向上同质外延生长,得到纯净的较大尺寸金刚石单晶。该方法实现条件温和,运行成本低,可用于人造和天然金刚石单晶为晶种的修复及生长。 | ||
搜索关键词: | 金刚石 同质 修复 以及 外延 生长 方法 | ||
【主权项】:
一种金刚石单晶同质内延修复以及同质外延生长的方法,其特征在于所述方法包括:采用金刚石沉积设备,以金刚石单晶为晶种,于700~2000℃的温度下进行气相沉积的内延修复和外延生长。
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