[发明专利]光伏装置的蚀刻工艺控制方法

摘要

本发明提供一种光伏装置的蚀刻工艺控制方法，其包括以下步骤：步骤1：将一晶片送入一蚀刻机台；步骤2：在所述蚀刻机台内测量、计算、记录所述晶片在蚀刻工艺前与蚀刻工艺后的某一特定物理量的差异，并由此计算、记录其蚀刻率；步骤3：由所述蚀刻机台自动判断所述蚀刻率与所述蚀刻机台内设的预定值是否有差异，若为否，则重新回到步骤1，若为是，则往下进行步骤4；步骤4：由所述蚀刻机台计算蚀刻工艺参数修正值；步骤5：由所述蚀刻机台自动修正其蚀刻工艺参数，并且回到步骤1。本发明是在光伏装置的蚀刻程序中，运用自动工艺回馈控制法来调整晶片的蚀刻率，以达到稳定的蚀刻工艺参数。

主权项

一种光伏装置的蚀刻工艺控制方法，其特征在于，其是包括有下列步骤：步骤1：将一晶片送入一蚀刻机台；步骤2：在所述蚀刻机台内测量、计算、记录所述晶片在蚀刻工艺前与蚀刻工艺后的某一特定物理量的差异，并由此计算、记录其蚀刻率；步骤3：由所述蚀刻机台自动判断所述蚀刻率与所述蚀刻机台内设的预定值是否有差异，若为否，则重新回到步骤1，若为是，则往下进行步骤4；步骤4：由所述蚀刻机台计算蚀刻工艺参数修正值；步骤5：由所述蚀刻机台自动修正其蚀刻工艺参数，并且回到步骤1。