[发明专利]提供乙炔的工艺和装置有效
| 申请号： | 200910211629.X | 申请日： | 2009-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101737624A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | T·J·梅库特;S·N·凯特卡;B·J·A·英曼;J·欧文;E·J·小卡瓦基;N·A·唐尼 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘锴;李炳爱 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种提供乙炔到使用点的系统和工艺，所述乙炔尤其是高纯度水平的(例如，含有百万分之100(“ppm”)，或者10ppm，或者1ppm，或者十亿分之100(“ppb”)，或者10ppb，或者1ppb或者更少的溶剂)，用于例如半导体生产工艺。一方面，提供一种含有100ppm或更少溶剂的高纯度乙炔的到使用点的工艺过程包括：提供一种含有乙炔和溶剂的温度从20℃到-50℃的乙炔原料流；在温度为-50℃到30℃下，引入乙炔原料流到纯化器中以除去其中含有的至少一部分溶剂，从而得到高纯度的乙炔。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 乙炔 工艺 装置 | ||
【主权项】：
一种将含有100ppm或更少溶剂的高纯度乙炔提供到使用点的工艺，包括：提供含有乙炔和溶剂的温度范围为20℃到-50℃的乙炔原料流；在-50℃到30℃的温度范围将乙炔原料流引导到纯化器，以除去至少一部分其中含有的溶剂，并提供高纯度的乙炔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于气体产品与化学公司，未经气体产品与化学公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910211629.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
