[发明专利]微机电元件及微机电弹簧元件有效
| 申请号： | 200910211938.7 | 申请日： | 2009-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102086017A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王传蔚;李昇达;徐新惠 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工业*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是有关于一种微机电元件及微机电弹簧元件，其中该微机电弹簧元件，包括基底、固定部以及可动部。其中，固定部固定在基底上。可动部具有连接于固定部的第一端与悬浮于基底上方的第二端，并且包括多层金属层以及连接于相邻的金属层之间的支撑层，而支撑层与其所连接的这些金属层之间具有中空区域。由于上述微机电弹簧元件采用中空结构，因此可避免在微机电弹簧元件受环境或封装温度变化时，因金属层与其间的膜层的热膨胀系数不同而导致可动部弯曲变形，从而确保微机电弹簧元件具有良好的工作性能。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 元件 弹簧 | ||
【主权项】：
一种微机电弹簧元件，配置于一基底上，其特征在于其包括：一固定部，固定于该基底上，该固定部包括：一绝缘层，配置于该基底上；多层金属固定层，配置于该绝缘层上方；多层支撑固定层，连接于该些金属固定层之间；以及一可动部，具有一第一端与一第二端，该第一端连接于该固定部，而该第二端悬浮于该基底上方，该可动部包括：多层金属层；以及至少一支撑层，连接于相邻的该些金属层之间，且该至少一支撑层与其所连接的该些金属层之间具有至少一中空区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于原相科技股份有限公司，未经原相科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910211938.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
