[发明专利]铁电体电容器、铁电体电容器的制造方法、铁电体存储器有效
| 申请号： | 200910211976.2 | 申请日： | 2007-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101714579A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 木岛健 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/92 | 分类号： | H01L29/92;H01L21/02;H01L27/115 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可靠性良好的铁电体电容器及其制造方法。铁电体电容器(100)包括：基板(20)；形成于所述基板(20)的上方的第一电极(22)；形成于所述第一电极(22)的上方的、由用Pb(Zr，Ti)O3表示的复合氧化物构成的第一铁电体层(24)；形成于所述第一铁电体层(24)的上方的、由用Pb(Zr，Ti)1-XNbXO3表示的复合氧化物构成的第二铁电体层(26)；以及形成于所述第二铁电体层(26)上方的第二电极(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电体 电容器 制造 方法 存储器 | ||
【主权项】：
一种铁电体电容器，其特征在于，包括：第一电极；锆钛酸铅，设置在所述第一电极上；铌锆钛酸铅，设置在所述锆钛酸铅上；以及第二电极，设置在所述铌锆钛酸铅上，其中，在所述铌锆钛酸铅中，当将铌原子的数量A与锆原子的数量、钛原子的数量以及所述铌原子的数量的总和B的比A/B设为X时，满足0.1≤X≤0.3。
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