[发明专利]用于2族金属氧化物膜的沉积的2族金属前体无效
| 申请号： | 200910212005.X | 申请日： | 2009-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101735082A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 雷新建;D·P·斯彭斯;J·A·T·诺曼;M·厄尔曼 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | C07C225/14 | 分类号： | C07C225/14;C07C221/00;C07D307/14;C23C16/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 段晓玲;孙秀武 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及含2族金属的多齿β-酮亚胺酸盐前体以及包括含2族金属的多齿β-酮亚胺酸盐前体的组合物，其中多齿β-酮亚胺酸盐前体将烷氧基引入到该分子的亚胺基部分中。化合物和组合物可用于采用化学蒸汽沉积(CVD)方法在基片如硅、金属氮化物、金属氧化物和其它金属层上制造含金属的膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 金属 氧化物 沉积 | ||
【主权项】：
1.多齿β-酮亚胺酸盐，它选自：![]()
其中M是选自镁，钙，锶和钡中的2族金属；R1选自C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C1-C10氟烷基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R2选自氢，C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R3选自C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R4是C1-C6线性或支化亚烷基；和R5选自C1-C10烷基，C1-C10氟烷基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基，![]()
其中M是选自镁，钙，锶和钡中的2族金属；R1选自C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C1-C10氟烷基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R2选自氢，C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R3选自C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R7是包括2或3个碳原子的有机基团；和n＝3，4或5，和![]()
其中M是选自镁，钙，锶和钡中的2族金属；R1选自C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C1-C10氟烷基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R2选自氢，C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C3-C10脂环族基，和C1-C10芳基；R3选自C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C3-C10脂环族基，和C6-C10芳基；R7是包括2或3个碳原子的有机基团；和R5和R6各自独立地选自C1-C10烷基，C1-C10烷氧基烷基，C1-C10烷氧基，C1-C10氟烷基，C3-C10脂环族基，和C1-C10芳基。
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