[发明专利]微纳米单粒子阻抗谱测量芯片及测量方法

摘要

微纳米单粒子阻抗谱测量芯片及测量方法涉及微纳米单粒子(含细胞)的表征技术，特别是微纳米粒子的阻抗谱测量技术。测量芯片中，上盖板(01)是透明材料，透明导电薄膜层(02)位于上盖板(01)的下表面；芯片下基底(09)上设有导电薄膜(08)，在下层导电薄膜(08)上设有光电导层(07)，在电导层(07)上设有绝缘层(06)，在绝缘层(07)上设有单粒子夹持块(05)，间隔层(04)位于上层透明导电薄膜(02)和下层导电薄膜(08)之间，进样口(03)位于上盖板(01)的一侧；单粒子阻抗谱测量方法为先接通用于粒子操控的电压信号，在粒子群所在的区域(11)利用缩微光图案(12)将目标粒子捕获并输运至单粒子夹持子块(051和052)之间的槽中，然后关闭粒子操控电压，接通阻抗谱测量电压，结合动态信号分析仪完成单粒子的阻抗谱测量。

主权项

一种微纳米单粒子阻抗谱测量芯片，其特征在于该阻抗谱测量芯片包括上盖板(01)、上层透明导电薄膜(02)、进样口(03)、间隔层(04)、单粒子夹持块(05)、绝缘层(06)、光电导层(07)、下层导电薄膜(08)、下基底(09)、芯片内部腔体(10)；上盖板(01)是透明材料，透明导电薄膜层(02)位于上盖板(01)的下表面，芯片下基底(09)上设有导电薄膜(08)，在下层导电薄膜(08)上设有光电导层(07)，在电导层(07)上设有绝缘层(06)，在绝缘层(06)上设有单粒子夹持块(05)，间隔层(04)位于上层透明导电薄膜(02)和下层导电薄膜(08)之间且位于绝缘层(06)、光电导层(07)两侧，进样口(03)位于上盖板(01)上。