[发明专利]一种β-FeSi2薄膜太阳能电池

摘要

本发明公开了一种β-FeSi2薄膜太阳能电池，它依次由非硅衬底(1)、背电极(2)、薄膜硅层(3)、β-FeSi2层(4)、氧化锌层(5)构成。非硅衬底(1)是陶瓷薄片或金属薄片；薄膜硅层(3)是n型或p型掺杂非晶硅；背电极(2)是可导电的材料；β-FeSi2层(4)为p型掺杂或n型掺杂；氧化锌层(5)为n型掺杂，掺杂浓度1×1019cm-3～2×1019cm-3，或者氧化锌层p型掺杂，掺杂浓度1×1017cm-3～2×1017cm-3。本发明采用非硅廉价衬底，降低电池制造成本；采用背场结构，提高开路电压和光电转换效率；氧化锌层起减反射作用，提高短路电流和光电转换效率。

主权项

一种β-FeSi2薄膜太阳能电池，其特征在于：依次由非硅衬底(1)、背电极(2)、薄膜硅层(3)、β-FeSi2层(4)和氧化锌层(5)构成；非硅衬底(1)是陶瓷薄片或金属薄片；薄膜硅层(3)厚度为8nm～12nm，是n型或p型掺杂非晶硅，掺杂浓度1×1019cm-3～2×1019cm-3；所述背电极(2)是可导电的材料；β-FeSi2层(4)厚度为200nm～250nm，为p型掺杂或n型掺杂，掺杂浓度1×1017cm-3～2×1017cm-3；氧化锌层(5)厚度为100nm～150nm；为n型掺杂，掺杂浓度1×1019cm-3～2×1019cm-3，或者氧化锌层p型掺杂，掺杂浓度1×1017cm-3～2×1017cm-3。