[发明专利]一体化超声喷雾热解大面积宽温区镀膜装置

摘要

本发明公开了一体化超声喷雾热解大面积宽温区镀膜装置，包括机架、储气罐，设置在机架上的输液泵，在所述机架上方设有三维运动机构，以及用于控制该三维运动机构做三维运动的控制模块；在机架内、三维运动机构下方设有可控温的加热平台；在所述加热平台和三维运动机构之间设有可高温镀膜的一体化超声雾化喷嘴系统，一体化超声雾化喷嘴系统朝向所述加热平台，所述输液泵与一体化超声雾化喷嘴系统连通，该一体化超声雾化喷嘴系统还与所述三维运动机构滑动连接。本发明利用一体化超声雾化喷嘴，克服了传统超声喷雾方式超声频率高、气雾不均匀、机构复杂的问题；利用外设冷却气体喷嘴，克服了一体化超声雾化喷嘴通常在低温环境下使用的问题，实现高温成膜。

主权项

一体化超声喷雾热解大面积宽温区镀膜装置，包括机架(1)、储气罐(21)，设置在机架(1)上的输液泵(13)，其特征在于：在所述机架(1)上方设有三维运动机构(2)，以及用于控制该三维运动机构(2)做三维运动的控制模块(10)；在机架(1)内、三维运动机构(2)下方设有可控温的加热平台(6)；在所述加热平台(6)和三维运动机构(2)之间设有可高温镀膜的一体化超声雾化喷嘴系统，一体化超声雾化喷嘴系统朝向所述加热平台(6)，所述输液泵(13)与一体化超声雾化喷嘴系统连通，该一体化超声雾化喷嘴系统还与所述三维运动机构(2)滑动连接。