[发明专利]一种高性能掺杂类金刚石膜的制备方法

摘要

一种高性能掺杂类金刚石膜的制备方法，其特征是该方法首先利用超声波清洗技术去除基体表面污染层；然后利用离子束辅助沉积技术制备梯度过渡层；最后利用离子束沉积+磁控溅射合成多元掺杂DLC膜，在此步骤除了向离子源中通入甲烷、乙炔、苯、乙醇、丙酮等任何一种含碳气体外，还同时通入包括硅烷、硼烷、磷烷、四氟化碳等含非碳元素气体源的任何一种气体，并开启金属溅射源掺杂金属元素。本发明可合成同时掺杂金属元素和非金属元素的多元掺杂DLC膜，充分发挥掺杂金属元素和非金属元素的优势互补，显著改善DLC膜的综合性能。

主权项

一种多元掺杂类金刚石(DLC)膜的制备方法，其特征在于：在离子束沉积合成DLC膜的过程中，除了向离子源中通入甲烷、乙炔、苯、乙醇、丙酮等任何一种含碳气体外，还同时通入包括硅烷、硼烷、磷烷、四氟化碳等含非碳元素气体源的任何一种气体，并开启金属溅射源掺杂金属元素，合成多元掺杂DLC膜，所述方法包括以下步骤：(1)首先利用超声波清洗技术去除基体表面污染层；(2)然后利用离子束辅助沉积技术制备梯度过渡层；(3)最后在梯度过渡层上利用离子束沉积+磁控溅射合成多元掺杂DLC膜。