[发明专利]激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法

摘要

激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法，属于半导体器件的激光精细加工领域。该控制系统包括激光器、光电转换器、幅度检测电路模块、光刻控制器、脉宽可调信号发生器、扫描振镜、聚焦透镜、被调电阻。采用脉宽可调控制技术，对系列激光脉冲串的首脉冲或前几个脉冲能量进行抑制，使其等于或低于后续稳定的激光脉冲的能量。采用能量相同的激光脉冲串进行调阻，可获得边缘光滑、无龟裂、无缺损的优质光刻切槽。提高了激光调阻后的阻值稳定性和可靠性，从而提高了激光调阻的片阻品质，尤其针对小尺寸片阻，采用该控制方法的效果更明显。

主权项

激光调阻中脉宽可调的首脉冲能量抑制的控制系统，其特征在于该控制系统包括：激光器(1)、光电转换器(2)、幅度检测电路模块(3)、光刻控制器(4)、脉宽可调信号发生器(5)、工艺参数文件模块(6)、扫描振镜(7)、聚焦透镜(8)、被调电阻(9)；各单元的信号连接关系：参数调节时，激光器(1)输出光送给光电转换器(2)，光电转换器输出的电信号再传送给幅度检测电路模块(3)，幅度检测电路将检测的结果送给光刻控制器(4)，光刻控制器控制脉宽可调信号发生器(5)；激光调阻时，激光器(1)的输出光送给扫描振镜(7)，扫描振镜调制激光后再传送给聚焦透镜(8)，聚焦透镜的输出光聚焦到被调电阻(9)上；开关1和开关2用于选择调阻生产或参数调试的两种工作状态；激光器(1)产生刻蚀片阻的激光，受控于脉宽可调信号发生器(5)，内部提供FPS信号接口；光刻控制器(4)是主要的计算和控制核心单元；工艺参数文件模块(6)保存光刻工艺参数；参数调试模块中的光电转换器(2)将光信号转换成电信号，幅度检测电路模块(3)逐个地检测脉冲激光的幅度值；调阻生产模块中的扫描振镜(7)控制激光的快速精确定位，聚焦透镜(8)将扩束准直激光聚焦成高能量密度光斑。