[发明专利]一种利用氧化石墨烯制备导电微纳结构的光加工方法有效
申请号: | 200910217941.X | 申请日: | 2009-12-02 |
公开(公告)号: | CN101723310A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 孙洪波;郭莉;夏虹;陈岐岱;张永来;肖丰收 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | B81C99/00 | 分类号: | B81C99/00;B82B3/00;C01B31/04 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 张景林;刘喜生 |
地址: | 130023 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明属于微纳制造技术领域,具体地说是涉及一种以氧化石墨烯为原料利用激光加工技术获得石墨烯微纳结构的方法。其首先在基底上制备氧化石墨烯薄膜,然后搭建激光微纳加工系统对氧化石墨烯进行激光微纳加工,从而在基底上获得石墨烯微纳结构。方法具有如下优点:易于进行各种图案化的微纳结构制备;利用逐点加工可实现三维结构;微纳结构的导电能力可通过控制对石墨烯材料的还原程度进行调控,而改变激光加工功率可改变还原程度;通过加工氛围的改变可实现石墨烯结构的调整。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 氧化 石墨 制备 导电 结构 加工 方法 | ||
【主权项】:
一种利用氧化石墨烯制备导电微纳结构的光加工方法,其步骤如下:(1)在基底上制备氧化石墨烯薄膜;(2)搭建激光微纳加工系统;(3)对氧化石墨烯进行激光微纳加工,从而在基底上获得石墨烯微纳结构。
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