[发明专利]一种球面实芯微通道板制备装置无效

专利信息
申请号: 200910218056.3 申请日: 2009-12-22
公开(公告)号: CN101728146A 公开(公告)日: 2010-06-09
发明(设计)人: 尼启良;陈波;刘世界 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: H01J9/00 分类号: H01J9/00;H01J43/04
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 刘树清
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种球面实芯微通道板制备装置,属于X射线、γ射线、宇宙射线、紫外线、带电粒子的探测技术领域涉及的一种装置。要解决的技术问题是:提供一种球面实芯微通道板的制备装置,解决的技术方案,由传动机构和真空加热装置两部分组成,传动机构位于整个装置的上部,真空加热装置在整个装置的下部。该装置通过装夹平面实芯微通道板的边缘,在制备过程中使其一个表面与胎具接触,保证了制备出的球面实芯微通道板的两个表面平行,具有相同的曲率半径,且避免了边缘褶皱的发生;整个制备过程在真空系统中完成,也避免了表面的氧化。提高了球面实芯微通道板的质量和成品率。
搜索关键词: 一种 球面 实芯微 通道 制备 装置
【主权项】:
一种球面实芯微通道板制备装置,其特征在于由传动机构和真空加热装置两部分组成,传动机构位于整个装置的上部,真空加热装置在整个装置的下部;其中传动机构包括蜗杆(7)、蜗轮(8)、传动轴(9)、传动块(10)、压块(11)、传动机构支撑架(12)、波纹管(13)、波纹管法兰(14)、第一螺钉(15)、密封圈(16)、第二螺钉(17);真空加热装置包括高温加热炉(18)、上压环(19)、平面实芯微通道板(20)、第三螺钉(21)、下压环(22)、球冠形胎具(23)、真空腔体(24)、支撑底板(25)、支撑座(26)、第四螺钉(27)、真空腔体上盖(28);在传动机构中蜗轮(8)与蜗杆(7)齿啮合,蜗轮(8)与传动块(10)的中心轴孔同轴固连,传动轴(9)穿过蜗轮(8)和传动块(10)的中心孔,伸进真空腔体(24)内,传动轴(9)与传动块(10)之间用螺纹连接,传动机构支撑架(12)在蜗轮(8)的下边套装在传动块(10)的外侧,在传动块(10)的外侧靠近蜗轮(8)处套装有压块(11),压块(11)的下沿落在传动机构支撑架(12)的台肩上,将传动块(10)的轴承压住,传动机构支撑架(12)的延边通过第二螺钉(17)与真空腔体上盖(28)连接;在传动块(10)下方的传动机构支撑架(12)的腔内,在传动轴(9)上套装有波纹管(13),两者固连,在波纹管法兰(14)的下面,在真空腔体上盖(28)上的凹槽内,装有密封圈(16),波纹管(13)通过波纹管法兰(14)用第一螺钉(15)与真空腔体上盖(28)连接;在真空加热装置中,支撑座(26)在真空腔体(24)的下部与其固连支撑着真空腔体(24),高温加热炉(18)装在真空腔体(24)内的支撑底板(25)上,传动轴(9)的下端通过高温加热炉(18)上盖的中孔伸进高温加热炉(18)内,上压环(19)通过中心孔用第四螺钉(27)与传动轴(9)的下端固连,在高温加热炉(18)内在上压环(19)的正下方装有球冠形胎具(23),在球冠形胎具(23)上放置直径大于上压环(19)内径的平面实芯微通道板(20),使其边缘在上压环(19)的下面超出上压环(19)的内径;在球冠形胎具(23)上套装有下压环(22),平面实芯微通道板(20)的边延落在下压环(22)上,上压环(19)与下压环(22)之间用第三螺钉(21)连接。
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