[发明专利]太阳能电池生产中背电极的沉积方法

摘要

本发明涉及太阳能电池生产领域，具体的说是一种太阳能电池生产中背电极的沉积方法，该方法是采用专用的太阳能电池背面溅镀背电极的磁控溅射设备通过以下步骤实现的：首先电池片经进片台在挂有电池挂片箱的传送导轨的带动下一次两片进入缓冲仓室，继续前行依次进入两个加热仓室，首先进入的加热仓室的加热温度为35℃，后进入的加热仓室的加热温度为50℃，进行两次加热之后温度达到50℃；之后进入溅镀仓室，在溅镀仓室中通过磁控溅射原理均匀的溅镀一层Al层作为背电极，溅镀之后出仓经缓冲仓室和出片台进入下一个设备；通过真空管道连接到各个仓室的真空系统控制各个仓室的真空值，阀门将各个仓室之间隔开形成相对独立的空间，达到对太阳能电池背电极的溅镀目的。

主权项

一种太阳能电池生产中背电极的沉积方法，其特征在于：该方法是采用太阳能电池背面溅镀背电极的磁控溅射设备通过以下步骤实现的，所述的磁控溅射设备是一个隧道式的结构形式，它包括进片台(1)，出片台(2)，缓冲仓室(3)、(4)，加热仓室(5)、(6)，溅镀仓室(7)，所述的缓冲仓室(3)、(4)，加热仓室(5)、(6)，溅镀仓室(7)各个仓室之间通过阀门(8)被隔开，两端设置的两个缓冲仓室(3)、(4)、中间并排设置的两个加热仓室(5)、(6)和溅镀仓室(7)构成磁控溅射设备主体，在磁控溅射设备主体各仓室的下面设置有真空系统(9)，真空系统(9)通过真空管道(10)连接到缓冲仓室(3)、(4)，加热仓室(5)、(6)和溅镀仓室(7)；该沉积方法的具体步骤是：电池片经进片台(1)在挂有电池挂片箱的传送导轨的带动下一次两片进入缓冲仓室(3)，继续前行依次进入两个加热仓室(5)、(6)，首先进入的加热仓室(5)的加热温度为35℃，后进入的加热仓室(6)的加热温度为50℃，进行两次加热之后温度达到50℃；之后进入溅镀仓室(7)，在溅镀仓室(7)中通过磁控溅射原理均匀的溅镀一层Al层作为背电极，溅镀之后出仓经缓冲仓室(4)和出片台(2)进入下一个设备；通过真空管道(10)连接到各个仓室的真空系统(9)控制各个仓室的真空值，阀门(8)将各个仓室之间隔开形成相对独立的空间，达到对太阳能电池背电极的溅镀目的。