[发明专利]一种微波水热法制备CuAlO2薄膜的方法

摘要

一种微波水热法制备CuAlO2薄膜的方法，首先将一水乙酸铜加入乙二醇中得溶液A；然后向A溶液中加入九水硝酸铝后调节pH值为2.0～4.0，形成均匀的前驱物溶液B；将B溶液倒入水热反应釜中，将硅基片浸于B溶液中；密封水热反应釜，将其放入MDS-8型温压双控微波水热反应仪中；选择控温模式或者控压模式进行反应后自然冷却到室温；打开水热反应釜，取出硅基下，然后分别采用去离子水、无水乙醇或异丙醇洗涤数次，干燥即得CuAlO2薄膜。本发明采用微波水热法制备CuAlO2薄膜。不仅制备成本低、操作简单、反应周期短，而且产物纯度高、晶粒发育完整、粒度分布均匀、形状可控且不需要煅烧处理。按本发明的制备方法制得的CuAlO2薄膜均匀致密、结合力强。

主权项

一种微波水热法制备CuAlO2薄膜的方法，其特征在于：步骤一：首先将分析纯的一水乙酸铜加入乙二醇中配制成Cu2+浓度为0.1mol/L～0.5mol/L的蓝色透明溶液，所得溶液记为A；步骤二：然后向A溶液中加入分析纯的九水硝酸铝，使得(Cu2+)∶(Al3+)＝1∶1的摩尔比，并不断搅拌，同时加入摩尔分数为0.5％～1.0％的HCOOH试剂，搅拌下调节pH值为2.0～4.0，形成均匀的前驱物溶液B；步骤三：将B溶液倒入水热反应釜中，填充度控制在50-80％；将硅基片放置在水热反应釜中，浸于B溶液中；然后密封水热反应釜，将其放入MDS-8型温压双控微波水热反应仪中；选择控温模式或者控压模式进行反应；所述控温模式的水热温度控制在100-200℃，控压模式的水热压力控制在0.5MPa-4.0MPa，反应10min-90min后自然冷却到室温；步骤四：打开水热反应釜，取出硅基片，然后分别采用去离子水、无水乙醇或异丙醇洗涤数次，在60℃真空干燥即得CuAlO2薄膜。