[发明专利]一种光学无损检测环形内壁表面的装置

摘要

本发明涉及一种光学无损检测环形内壁表面的装置，其特征在于：在被测环形内壁的轴线上依设置细玻璃棒、扩束装置、剪切元件、成像装置、线阵CCD和旋转台；剪切元件成像装置、和线阵CCD固定在旋转台上，且线阵CCD的主光轴与旋转轴重合；细玻璃棒设置在环形内壁轴线距环形内壁中心小于200mm的位置，并平行于环形内壁轴线放置；激光器的光轴与玻璃棒的中心轴线呈0.01°～20°角度放置；线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至旋转台控制旋转台的旋转。利用线阵CCD推扫，根据待测样品表面设计的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，提高了缺陷检测的灵敏度。

主权项

一种光学无损检测环形内壁表面的装置，其特征在于包括激光器(1)、扩束装置(2)、剪切元件(4)、成像装置(5)、线阵CCD(6)、旋转台(7)、计算机(8)和细玻璃棒(9)；在被测环形内壁的轴线上依设置细玻璃棒(9)、扩束装置(2)、剪切元件(4)、成像装置(5)、线阵CCD(6)和旋转台(7)；剪切元件(4)、成像装置(5)和线阵CCD(6)固定在旋转台(7)上，且线阵CCD(6)的主光轴与旋转轴重合；细玻璃棒(9)设置在环形内壁轴线距环形内壁中心小于200mm的位置，并平行于环形内壁轴线放置；激光器(1)的光轴与玻璃棒的中心轴线呈0.01°～20°角度放置；线阵CCD(6)采集的图像信号输出至计算机(8)，计算机(8)的控制信号输出至旋转台(7)控制旋转台(7)的旋转；扩束装置(2)设置在激光束经细玻璃棒产生的圆锥面光束方向位置上，调整扩束装置(2)上下位置使圆锥面光束均匀扩束到环形内壁整个表面；所述剪切元件(4)为夹角在0.01°～5°角度固定的两块平面反射镜组成，其交楞中心位于旋转轴线与环形内壁高度中心交叉点上，且两镜面与旋转轴线夹角相同为45°±1°。