[发明专利]一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 200910219073.9 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101726526A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 王海容;孙国良;任军强;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及SO2气体传感器领域，公开一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法。该固体电解质SO2气体传感器，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的SiO2绝缘层、导电膜、Sn/SnF2薄膜、LaF3固体电解质薄膜和Pt网，所述导电膜连出第一引线，Pt网连出第二引线。本技术方案的中，所述导电膜为Al膜；其制作方法采用MEMS(微机电系统)技术，工艺简单，实现方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固体 电解质 so sub 气体 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种固体电解质SO2气体传感器，其特征在于，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的SiO2绝缘层、导电膜、Sn/SnF2薄膜、LaF3固体电解质薄膜和Pt网，所述导电膜连出第一引线，Pt网连出第二引线。
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