[发明专利]基于微机电系统技术的粘度传感器芯片及其制备方法无效
| 申请号： | 200910219368.6 | 申请日： | 2009-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN101738355A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;张桂铭;蒋庄德;刘志刚 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N11/10 | 分类号： | G01N11/10;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于粘度传感器的基于MEMS技术的硅微悬臂梁式芯片及其制备方法，芯片结构为基于振动原理的三角形硅微悬臂梁结构，采用钛-铂-金梁式引线技术；本发明有很快的频率响应特性和极高的灵敏度，该MEMS粘度传感器测量范围为1mPa·s～100mPa·s、精度优于±5％FS，可以实现在静压值小于100MPa、环境温度-20℃～180℃下快速、在线、小样品量、准确地测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微机 系统 技术 粘度 传感器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微机电系统技术的粘度传感器芯片，包括N型单晶硅片及其上表面布置的二氧化硅隔离层、P型掺杂硅、氮化硅应力匹配层、线圈、内引线、氮化硅电气绝缘层、跳线、二氧化硅保护层和氮化硅保护层，其特征在于：所述的芯片为基于振动原理的三角形硅微悬臂梁结构，所述的线圈、内引线和跳线分别为钛-铂-金梁式线圈、钛-铂-金梁式内引线和钛-铂-金梁式跳线。
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