[发明专利]一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置无效
| 申请号： | 200910220154.0 | 申请日： | 2009-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102072969A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 周磊;于鹏;刘柱;杨洋;董再励 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术，公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置，本发明通过控制步进电机带动样品台上升，利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置，完成逼近初调；然后控制压电陶瓷驱动器向上逼近，通过检测光电传感器来判断样品是否接触探针，来完成最终逼近。本发明可以有效解决在样品逼近过程中样品厚度对逼近过程中的影响，减少逼近过程中对探针及样品表面的破坏损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 纳米 观测 操作 无损 自动 逼近 装置 | ||
【主权项】：
一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近装置，其特征在于：包括步进电机、压电陶瓷驱动器、激光发射器、激光接收器、控制器、探针、激光光源、光电传感器，所述控制器与各部件电连接，所述步进电机上设置压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器上设置样品台，所述样品台正上方设置探针，激光源发射激光经探针反射至光电传感器，激光发射器和激光接收器分别安置于样品台两侧且位于探针正下方、样品台的正上方。
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