[发明专利]高致密度氧化镁靶材的制造方法

摘要

本发明公开了一种氧化镁靶材的制造方法。该方法采用以下步骤：A.以纯度大于99.99％、平均粒径100nm左右的MgO粉作为靶材主料；B.将有机物聚合单体、交联剂、分散剂等加入到甲苯溶液中制成预混液，然后依次加入步骤A所得的靶材原料，搅拌制浆并将研磨后得到浆料；C.步骤B所得的浆料真空搅拌脱气，然后浇注入模具，进行恒温干燥使坯体发生凝胶反应而固化。D.将具备了一定强度的坯体，从模具中脱离出来，对坯体表面进行必要的打磨、修整。E.对D的产物进行致密化处理，即得氧化镁靶材。本发明解决了现有技术均匀度和致密度不高，工艺耗能耗时、不能批量生产的问题，使生产效率和成品率大大提高，所得MgO靶材整体均匀性好、致密度高。

主权项

一种高致密度氧化镁靶材的制造方法，其特征在于它包括下述工艺步骤：A.以纳米氧化镁粉体为主要原料，平均粒径在100nm，原料粉体纯度大于99.99％在上述粉体中添加0.005‑0.01wt％不降低氧化镁陶瓷靶材最终性能的氧化钇粉末做为助烧结剂；B.将甲苯、有机物聚合单体甲基丙烯酸乙酯、交联剂N，N’‑亚甲基双丙烯酰胺以100∶10‑15∶0.5‑1的重量比例充分溶解制成预混液，加入0.1‑1wt％改性聚脂做分散剂，然后依次加入步骤A所得的靶材原料，加入原料粉体的体积含量为55％‑75％，搅拌制浆并经研磨后得到浆料；C.步骤B所得的浆料加入0.1‑1.5％体积的有机脱气剂正丁醇，加入0.01‑2wt‰催化剂二甲基苯胺和0.01‑2wt‰引发剂过氧化苯甲酰真空搅拌脱气15‑60分钟，然后根据所需产品的尺寸浇注入相应尺寸的模具，再将浆料进行60‑80℃恒温干燥1‑2小时，使坯体发生凝胶反应而固化；D.将固化定型后的坯体，从模具中脱离出来，对坯体表面进行打磨、修整。E.对D的产物进行致密化处理，即得氧化镁靶材。