[发明专利]用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层及制备方法有效
申请号: | 200910220780.X | 申请日: | 2009-12-15 |
公开(公告)号: | CN102092159A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 高淑春;胡金玲;杨升山;王晓光 | 申请(专利权)人: | 沈阳天贺新材料开发有限公司 |
主分类号: | B32B15/04 | 分类号: | B32B15/04;C23C14/35;C23C14/22;C23C14/16;C23C14/06 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 韩辉 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层及制备方法,其中用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层由TiMo粘结层和TiAlN面层组成;该制备方法采用H-MFD200型高真空多功能薄膜沉积系统,在金属表面镀制ZrN/TiMo复合涂层。本发明的制备工艺包括:粘结层TiMo的制备,采用磁控溅射制备工艺;和ZrN面层的制备,采用多弧离子镀制备工艺。该方法制备的涂层致密,与基体结合力良好,涂层厚度可控制,在600℃高温下,具有良好的抗热循环能力、抗热盐腐蚀能力和抗冲刷磨损的能力。 | ||
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【主权项】:
一种用于压气机叶轮、叶片的ZrN/TiMo复合涂层,其特征在于由TiMo粘结层和TiAlN面层组成。
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