[发明专利]感射线性树脂组合物、液晶显示元件的分隔物和保护膜以及它们的形成方法无效
申请号: | 200910220997.0 | 申请日: | 2009-11-25 |
公开(公告)号: | CN101750893A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 西尾寿浩;坂井孝广;佐野有香;中川刚志 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/028 | 分类号: | G03F7/028;G03F7/00;G02F1/1339;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、液晶显示元件的分隔物和保护膜以及它们的形成方法。目的是提供一种感射线性树脂组合物,其具有高的射线敏感度,即使是低曝光量,也能够制得具有所需的图案尺寸、并且强度优良的图案状薄膜,并且能够在短时间内进行显影。该感射线性树脂组合物包含(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物和(C)感射线性聚合引发剂,作为(B)聚合性不饱和化合物,含有选自下述通式(1)表示的化合物构成的群组中的至少一种(甲基)丙烯酸酯化合物,式(1)中,X各自独立地表示氢原子、丙烯酰基、甲基丙烯酰基中的任意一者,且至少其中之一为丙烯酰基或甲基丙烯酰基。并且,a~f为整数,且a至f的总和为6~24。 | ||
搜索关键词: | 射线 树脂 组合 液晶显示 元件 分隔 保护膜 以及 它们 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种感射线性树脂组合物,其特征在于,在包含(A)碱可溶性树脂、(B)聚合性不饱和化合物和(C)感射线性聚合引发剂的感射线性树脂组合物中,作为(B)聚合性不饱和化合物,含有选自下述通式(1)表示的化合物群中的至少一种(甲基)丙烯酸酯化合物,式(1)中,X各自独立地表示氢原子、丙烯酰基、甲基丙烯酰基中的任意一者,且至少其中之一为丙烯酰基或甲基丙烯酰基,并且,a~f为整数,且a至f的总和为6~24。
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