[发明专利]以纳微米球制作图案化基板的方法无效
| 申请号： | 200910221746.4 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102063013A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 詹佳桦;侯佳宏;陈清仁;陈启昌 | 申请（专利权）人： | 国立中央大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L33/22;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种以纳微米球制作图案化基板的方法，包括：(A)提供一基板，其中基板表面具有一光阻层；(B)涂布复数纳微米球于光阻层表面，以形成一纳微米球层；(C)进行曝光显影工艺，以图案化光阻层；以及(D)移除纳微米球层。此外，于移除纳微米球层后，还包括：(E1)以图案化的光阻层做为一蚀刻屏蔽，以蚀刻基板；以及(E2)移除光阻层，以得到一图案化基板，其中图案化基板具有复数凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 制作 图案 化基板 方法 | ||
【主权项】：
一种以纳微米球制作图案化基板的方法，包括：A)提供一基板，其中该基板表面具有一光阻层；B)涂布复数纳微米球于该光阻层表面，以形成一纳微米球层；C)进行曝光显影工艺，以图案化该光阻层；以及D)移除该纳微米球层。
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