[发明专利]延长化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法有效
| 申请号： | 200910222620.9 | 申请日： | 2009-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101767315A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 宋健民 | 申请（专利权）人： | 宋健民 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;B24B37/00;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种延长一化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法，包括利用所述的修整器修整所述的化学机械抛光垫；凭借测量所述的抛光垫、修整器或其组合的机械性质而测定超研磨颗粒的磨损；凭借改变所述的抛光垫和修整器之间与超研磨颗粒的磨损有关的压力和机体转速而适应该机械性质测量值，以延长修整器寿命。另外，一方法可包括以所述的修整器修整所述的化学机械抛光垫；以一实质上平行于所述的抛光垫的工作表面的方向振动选自于抛光垫、修整器、晶圆或其组合的元件；以及当修整器在使用时以非线性的方式随着时间改变所述的抛光垫和修整器之间的压力和/或机体转速，以延长修整器寿命，其中当化学机械抛光垫表面出现磨损，所述的压力和RPM是增加的。 | ||
| 搜索关键词： | 延长 化学 机械抛光 修整 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
一种延长化学机械抛光垫修整器的使用寿命的方法，该化学机械抛光垫修整器用于修整化学机械抛光垫，所述的修整器具有一基座以及复数设置在所述的基座上的超研磨颗粒，其特征在于，所述的方法包括：凭借所述的修整器修整所述的化学机械抛光垫；凭借测量所述的抛光垫、修整器或其组合的机械性质而测定超研磨颗粒的磨损(wear)；凭借改变所述的抛光垫和修整器之间与超研磨颗粒的磨损有关的压力和机体转速(RPM)而适应该机械性质测量值，以延长修整器寿命。
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