[发明专利]具有用于光纤卡盘的清洁器的阵列测试装置无效
| 申请号： | 200910224090.1 | 申请日： | 2009-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101988903A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 朴廷喜 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;B08B5/04;B08B7/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;黄启行 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种能够对形成在显示器基板上的电极的电缺陷进行测试的阵列测试装置。待测试的基板安装在光纤卡盘上。调制器设置在所述光纤卡盘的一侧。光源设置在所述光纤卡盘的相对侧，向所述调制器发出光。清洁器将异物从所述光纤卡盘去除。在阵列测试处理中，清洁器将附着到所述光纤卡盘上的异物去除，从而提高阵列测试处理的可靠性，减少测试错误。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 光纤 卡盘 清洁 阵列 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种阵列测试装置，包括：光纤卡盘，其上安装有待测试的基板；调制器，设置在所述光纤卡盘的一侧；光源，设置在所述光纤卡盘的另一侧，向所述调制器发射光；和清洁器，将异物从所述光纤卡盘去除。
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