[发明专利]喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法有效
申请号: | 200910224599.6 | 申请日: | 2009-11-19 |
公开(公告)号: | CN101740664A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 间瀬惠二;佐久间克幸;藤乘茂 | 申请(专利权)人: | 株式会社不二制作所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/042 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 党晓林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 具体地说,在采用细磨料的精细喷砂中,加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置,从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。于是,从在负压空间(20)内布置喷射孔(31)的喷枪(30)喷射细磨料,工件相对于喷射孔沿移动方向(T)相对移动,在喷射细磨料时,压缩空气产生具有与工件的相对移动方向基本平行的扩散方向的气流,以进行吹气,因此通过与负压空间(20)和/或者相对负压空间(40)连通的抽吸装置的中间作用,从各负压空间内的空间抽吸并回收喷射的细磨料和切屑。 | ||
搜索关键词: | 喷砂 方法 装置 薄膜 太阳能 电池板 及其 加工 | ||
【主权项】:
一种喷砂方法,该方法包括如下步骤:通过与待加工工件上的空间连通的抽吸装置的中间作用来抽吸该空间,以使该空间成为负压空间;使所述工件在大气中相对于喷枪的喷射孔相对地移动,所述喷枪设置在所述负压空间内而与彼此相距预定间隔设置的所述工件的待加工表面相对;从开口将所述负压空间内的压缩气体和磨料的混合流体喷射至所述工件的所述待加工表面,所述开口在与所述工件的移动方向相同的方向上面向所述工件的至少一侧边而形成于所述负压空间内;在向所述待加工表面喷射所述混合流体期间,向所述工件的待加工表面喷射压缩气体,以产生扩散方向相对于所述喷枪的所述喷射孔基本平行于所述工件的相对移动方向的气流;以及经所述抽吸装置的中间作用来抽吸和回收切屑和所述磨料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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