[发明专利]铝或铝合金溅射靶材的清洗方法有效
| 申请号： | 200910224768.6 | 申请日： | 2009-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101709452A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C23G5/02;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 315400 浙江省余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗。所述第一清洗剂和所述第二清洗剂是不同的，所述第一、第二清洗剂分别独立地为水、有机溶剂、以及多种溶剂的混合物中的任何一种。此外，所述清洗方法还可包括在所述第一清洗阶段前的预热工序、在所述第二清洗阶段后的蒸汽清洗阶段。根据本发明，可以充分全面地去除油污、灰尘及杂质等，降低清洗成本，得到更好的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金 溅射 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种铝或铝合金溅射靶材的清洗方法，其特征在于，具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铝或铝合金溅射靶材进行至少一次清洗。
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