[发明专利]蒸发方法及蒸发设备有效
| 申请号： | 200910225436.X | 申请日： | 2009-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101724810A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 宋怡桦;徐士峰 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发方法及蒸发设备。所述蒸发方法为：首先提供基板以及提供蒸发掩膜，其中蒸发掩膜上具有N个图案区域。另外，提供蒸发源，其中蒸发源具有多个蒸发区域，且蒸发源的每一个蒸发区域对应蒸发掩膜的至少一图案区域设置。接着，将蒸发掩膜设置于基板与蒸发源之间。之后，对基板进行第一次蒸发步骤。将基板转动90度之后，对基板进行第二次蒸发步骤。再次将基板转动90度之后，对基板进行第三次蒸发步骤。再次将基板转动90度之后，对基板进行第四次蒸发步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸发方法，其特征在于，所述蒸发方法包括：提供一基板；提供一蒸发掩膜，所述蒸发掩膜上具有N个图案区域；提供一蒸发源，其中所述蒸发源具有多个蒸发区域，每一个蒸发区域对应所述蒸发掩膜的至少一图案区域设置；将所述蒸发掩膜设置于所述基板与所述蒸发源之间；对所述基板进行一第一次蒸发步骤；将所述基板转动90度之后，对所述基板进行一第二次蒸发步骤；再次将所述基板转动90度之后，对所述基板进行一第三次蒸发步骤；以及再次将所述基板转动90度之后，对所述基板进行一第四次蒸发步骤。
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