[发明专利]等离子体辅助流化床工艺生产多晶硅的方法及装置有效
| 申请号： | 200910233370.9 | 申请日： | 2009-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101696013A | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 陈涵斌;钟真武;陈其国 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027;C01B33/03 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体辅助流化床工艺生产多晶硅的方法及装置，原料气体采用硅烷和卤代硅烷中的一种或几种，还原气体采用氢气，原料气体全部或部分与氢气混合后通过等离子体发生装置转换为等离子体再进入流化床反应器中，等离子化的混合气体反应后沉积制造粒状多晶硅；或者，原料气体直接进入流化床反应器中，与将被转换为等离子体后的氢气在流化床反应器中混合，等离子化的混合气体反应后在流化床反应器内沉积制造粒状多晶硅。本发明实现了常压连续操作，反应温度较低，沉积速率高，多晶硅单程收率高，同时还能够以较低的单位电耗及操作成本对现有多晶硅生产工艺中的副产物进行直接利用并生产出高纯粒状多晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 辅助 流化床 工艺 生产 多晶 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体辅助流化床工艺生产多晶硅的方法，原料气体采用硅烷和卤代硅烷中的一种或几种，还原气体采用氢气，其特征在于，原料气体与氢气混合后通过等离子体发生装置转换为等离子体再进入流化床反应器中，原料气体与氢气反应后在流化床反应器内沉积生产粒状多晶硅；或者，部分原料气体与氢气混合后通过等离子体发生装置转换为等离子体再进入流化床反应器中，剩余部分原料气体直接进入流化床反应器中，原料气体与氢气反应后在流化床反应器内沉积生产粒状多晶硅；或者，原料气体直接进入流化床反应器中，与被转换为等离子体后的氢气在流化床反应器中混合，原料气体与氢气反应后在流化床反应器内沉积生产粒状多晶硅。
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