[发明专利]双测试室测量材料放气率的装置及方法有效
| 申请号： | 200910235750.6 | 申请日： | 2009-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101696923A | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 冯焱;李得天;张涤新;郭美如;曾祥坡;卢耀文 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01N7/16 | 分类号： | G01N7/16;G01N1/44 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;郭德忠 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双测试室测量材料放气率的装置及方法，属于真空计量领域。本发明的装置利用测试室对称的结构，分离规桥接在小孔的两侧，通过变换气体的流动通道，实时测量测试室内的本底。本发明的方法首先将试样放入高真空室内，抽气同时进行烘烤除气，然后将试样放出的气体引入测试室，动态平衡状态下测量小孔两边的压强差，通过已知的小孔流导得出总的放气量；再将试样放出的气体引入测试室，动态平衡状态下测量测试室和超高真空室内的压强，通过已知的小孔流导得出测试室内的放气量；最后取出试样，相减即得试样的放气量。本方法操作方便，可以实时测量测试室内的本底，有利于测量精度的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 测量 材料 放气 装置 方法 | ||
【主权项】：
双测试室测量材料放气率的装置，包括高真空室(12)、超高真空室(2)、分离规(7)、超高真空角阀A(5)、超高真空角阀B(6)、直通阀A(10)和直通阀B(11)，双分子泵抽气系统(1)；其特征在于还包括：对称的测试室A(8)和测试室B(9)，双分子泵抽气系统(1)与超高真空室(2)连接；超高真空室(2)与两个对称的测试室A(8)和测试室B(9)分别通过小孔相连通，小孔的直径范围5.7mm～14mm；分离规(7)桥接于超高真空室(2)和测试室A(8)之上，并且分离规(7)与超高真空室(2)和测试室(8)连接处分别装有超高真空角阀A(5)和超高真空角阀B(6)；测试室A(8)和测试室B(9)分别通过直通阀A(10)、直通阀B(11)与高真空室(12)连接，高真空室(12)内置加热板。
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