[发明专利]一种石墨型原子氧密度传感器的设计方法

摘要

本发明涉及一种石墨型原子氧密度传感器的设计方法，属于气体探测技术领域。首先在氧化铝陶瓷基片上制备两对同样尺寸的金电极，然后在金电极中间制备石墨膜，形成两条同样尺寸的石墨膜电阻；在盖板和绝缘垫上开一条尺寸与石墨膜尺寸相同的通孔；陶瓷基片置于底座上，导线与金电极紧密相连，然后盖上绝缘垫和盖板，并用螺丝将盖板与底座拧紧，组成原子氧密度传感器。当传感器暴露于原子氧中时，原子氧剥蚀石墨膜，使石墨膜电阻增加。通过测量单位时间内石墨电阻的变化，计算作用在石墨膜上原子氧密度大小，达到探测原子氧密度的目的。本发明对原子氧具有良好的连续响应特性，可用于地面模拟设备原子氧密度和空间环境中的原子氧密度探测。

主权项

一种石墨型原子氧密度传感器的设计方法，包括底座(1)、绝缘垫(2)、陶瓷基片(3)、石墨膜(4)、盖板(5)、引线(6)和金电极(7)，其特征在于：首先在陶瓷基片上制备两对同样尺寸的金电极，然后在金电极中间制备石墨膜，形成两条同样尺寸的石墨膜电阻，使其中一个石墨膜电阻暴露于原子氧中，另一个石墨膜电阻不暴露原子氧中，作为参考电阻；在盖板和绝缘垫上开一条尺寸与石墨膜尺寸相同的通孔；陶瓷基片置于底座上，导线与金电极紧密相连，然后盖上绝缘垫和盖板，并用螺丝将盖板与底座拧紧，即为石墨型原子氧密度传感器；所述的陶瓷基片由96％以上的氧化铝陶瓷制成；当传感器暴露于原子氧中时，原子氧剥蚀石墨膜，使石墨膜电阻增加；通过测量单位时间内石墨电阻的变化，计算作用在石墨膜上原子氧密度大小，即可探测原子氧密度。