[发明专利]一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法无效
| 申请号： | 200910236484.9 | 申请日： | 2009-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101693365A | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 卢明臻;高思田;施玉书;杜华;崔建军 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00;G12B5/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 100028 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空气轴承结构及其实现气膜厚度补偿的方法，该空气轴承结构安装于一气浮工作台与一基座之间形成支撑，空气轴承结构包括：微位移传递机构，装设于气浮工作台与基座之间；补偿气浮垫，面向气浮工作台的底面，装设于微位移传递机构形成的杠杆的一端，工作时该补偿气浮垫与气浮工作台之间形成润滑气膜；工作气浮垫，面向基座的表面，装设于微位移传递机构形成杠杆的另一端，工作时该工作气浮垫与基座表面之间形成润滑气膜；加载机构，用于对空气轴承结构进行加载，使补偿气浮垫与工作气浮垫的工作状态相同；当供气压力变化时，通过微位移传递机构将补偿气浮垫润滑气膜的变化反向叠加到工作气浮垫上，补偿工作气浮垫气膜厚度的变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空气 轴承 结构 及其 实现 厚度 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种具有气膜厚度补偿能力的空气轴承结构，安装于一气浮工作台与一基座之间形成支撑，其特征在于，所述空气轴承结构包括：一微位移传递机构，装设于所述气浮工作台与所述基座之间；一补偿气浮垫，面向所述气浮工作台的底面，装设于所述微位移传递机构形成的杠杆的一端，工作时该补偿气浮垫与所述气浮工作台之间形成润滑气膜；一工作气浮垫，面向所述基座的表面，装设于所述微位移传递机构形成杠杆的另一端，工作时该工作气浮垫与所述基座表面之间形成润滑气膜；一加载机构，用于对所述空气轴承结构进行加载，使所述补偿气浮垫与所述工作气浮垫的工作状态相同；当供气压力变化时，通过所述微位移传递机构将所述补偿气浮垫润滑气膜的变化反向叠加到所述工作气浮垫上，补偿所述工作气浮垫气膜厚度的变化。
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