[发明专利]一种聚合物薄膜热贴合方法及其在顶栅有机场效应晶体管中的应用无效
申请号: | 200910237346.2 | 申请日: | 2009-11-10 |
公开(公告)号: | CN101710607A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 刘云圻;张磊;狄重安;郭云龙;孙向南;温雨耕;于贵;朱道本 | 申请(专利权)人: | 中国科学院化学研究所 |
主分类号: | H01L51/40 | 分类号: | H01L51/40 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 100080 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种在有机半导体薄膜上制备聚合物绝缘薄膜的方法。该方法包括下述步骤:1)在亲水性基片表面制备聚合物薄膜,然后将所述亲水性基片浸入水中,水侵入所述聚合物薄膜与所述亲水性基片之间,使所述聚合物薄膜从所述亲水性基片表面剥落,并自发铺展于水的表面,将所述聚合物薄膜从水的表面转移到框架上,并将支撑着所述聚合物薄膜的框架放入烘箱,使所述聚合物薄膜烘干;2)使有机半导体薄膜表面与所述高分子聚合物薄膜表面相接触,并将它们置于烘箱中,在真度为0.001KPa-1KPa的条件下进行加热,冷却至室温后将薄膜取出,即在有机半导体薄膜表面制备得到高分子聚合物薄膜。采用上述方法可以最大程度上降低顶层绝缘层构建对有机半导体薄膜的负面作用,提高顶栅OFET的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 聚合物 薄膜 贴合 方法 及其 有机 场效应 晶体管 中的 应用 | ||
【主权项】:
一种在有机半导体薄膜上制备聚合物绝缘薄膜的方法,包括下述步骤:1)在亲水性基片表面制备聚合物薄膜,然后将所述亲水性基片浸入水中,水侵入所述聚合物薄膜与所述亲水性基片之间,使所述聚合物薄膜从所述亲水性基片表面剥落,并自发铺展于水的表面,将所述聚合物薄膜从水的表面转移到框架上,并将支撑着所述聚合物薄膜的框架放入烘箱,使所述聚合物薄膜烘干;2)使有机半导体薄膜表面与所述聚合物薄膜表面相接触,并将它们置于烘箱中,在真空度为0.001Kpa-1Kpa的条件下进行加热,冷却至室温后将薄膜取出,即在有机半导体薄膜表面制备得到聚合物绝缘薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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