[发明专利]激光程控气体浓度检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 200910237838.1 | 申请日： | 2009-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102062722A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 孙可;谢亮;鞠昱;韩威;王欣;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种激光程控气体浓度检测系统，包括：一程序控制处理器；一程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯；一柱形气室的一端的中心安装有法兰装置；一长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中，另一端与程控电流源连接；一光电探测器安装在柱形气室的另一端；一微电流检测计采集光电探测计上的电流信号，该微电流检测计与程序控制处理器通讯；一信号发生器将调制信号加载在程控电流源上，该信号发生器与程序控制处理器通讯；一锁相放大器采集光电探测计上的信号，该锁相放大器与程序控制器通讯。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 程控 气体 浓度 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种激光程控气体浓度检测系统，包括：一程序控制处理器；一程控电流源，该程控电流源可以输出直流电源或是在输出的直流电源上叠加高频信号，该程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯，该程控电流源给长波长激光器供电；一柱形气室，该柱形气室的腔为开放性结构，与环境气体联通，该柱形气室的一端的中心安装有法兰装置；一长波长激光器，该长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中，该长波长激光器的另一端与程控电流源连接；一光电探测器，该光电探测器安装在柱形气室的另一端，该光电探测器安装的位置应与法兰处耦合进来的激光准直；一微电流检测计，该微电流检测计采集光电探测计上的电流信号，该微电流检测计与程序控制处理器通讯；一信号发生器，该信号发生器将调制信号加载在程控电流源上，该信号发生器与程序控制处理器通讯；一锁相放大器，该锁相放大器采集光电探测计上的信号，该锁相放大器与程序控制器通讯。
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